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Mini CPS微型真空探針臺(tái)介電/壓電/鐵電/熱釋電/光電材料的電學(xué)性能表征，機(jī)械彈性設(shè)計(jì)，避免探針損壞薄膜樣品。

FEMS100鐵電分析儀采用虛擬接地測(cè)量技術(shù)模式，提高測(cè)量精度，適用溫度-160℃～450℃。

介電溫譜測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量介電常數(shù)、介電損耗、阻抗以及它們隨溫度、時(shí)間、頻率變化的曲線，同時(shí)得出相位θ、Cole-Cole圖、導(dǎo)納圖和壓電材料的機(jī)電耦合系數(shù)（選配）等。

高壓極化裝置可以對(duì)不同材料、厚度的陶瓷樣品進(jìn)行多路同步極化。每路可設(shè)置不同的的極化電壓和電壓時(shí)間，并且每路極化互不影響。具有安全互鎖功能，取樣和放樣時(shí)，高壓切斷，并采用隔離屏蔽技術(shù)，確保人員安全。

高溫電阻測(cè)量系統(tǒng)使用多種測(cè)量方法測(cè)量材料電阻，如四線電阻法，2線法，三環(huán)電極法，4探針?lè)ǖ取?/p>

電阻測(cè)量和監(jiān)控對(duì)于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都至關(guān)重要，從半導(dǎo)體制造到可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品。R50薄膜電阻測(cè)試儀(四探針、電渦流)在金屬膜均勻性分布、離子摻雜和注入表征、薄膜厚度和電阻率分布、以及非接觸膜厚等量測(cè)均進(jìn)行了優(yōu)化加強(qiáng)。