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高溫電阻測(cè)量系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:高溫電阻測(cè)量系統(tǒng)使用多種測(cè)量方法測(cè)量材料電阻,如四線電阻法,2線法,三環(huán)電極法,4探針?lè)ǖ取?/p>

  • 產(chǎn)品型號(hào):RMS 1000

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)
類型其他應(yīng)用領(lǐng)域綜合

高溫電阻測(cè)量系統(tǒng)

RMS1000S系列高溫半導(dǎo)體材料電阻率測(cè)量系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評(píng)估和測(cè)試,該系統(tǒng)采用四線電阻法測(cè)量原理進(jìn)行設(shè)計(jì)開發(fā),可以在高溫、真空氣氛的條件下測(cè)量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,可以分析被測(cè)樣品電阻和電阻率隨溫度、時(shí)間變化的曲線。

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目前主要針對(duì)圓片、方塊、長(zhǎng)條等測(cè)試樣品進(jìn)行測(cè)試,廣泛用于半導(dǎo)體材料硅(si)、鍺(ge)、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦(InSb)三元化合物半導(dǎo)體GaAsAl、GaAsP,固溶體半導(dǎo)體,如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測(cè)量。

高溫電阻測(cè)量系統(tǒng)功能特點(diǎn)

2 針對(duì)性質(zhì)不同的材料開發(fā)相應(yīng)的測(cè)試系統(tǒng)

2 多種保護(hù)措施,確保測(cè)試安全

2 溫度范圍廣:RT600/1000

2 可實(shí)現(xiàn)惰性、氧化、還原、真空等多種氣氛測(cè)量

2 樣品壓力大0.25N,保證測(cè)量過(guò)程不損壞樣品

2 上電極半球狀+下電極平板狀設(shè)計(jì),可以精確定位測(cè)量被測(cè)樣品某一點(diǎn)

半導(dǎo)體材料-2W法

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半導(dǎo)體2W法計(jì)算公式

ρ=RS/L=Vs/IL

ρ =以厘米-歐姆為單位的電阻率

V =加載樣品上的電壓或電壓源輸出電壓

l =表示流過(guò)樣品的電流或電流源輸出電流

L =表示樣品的厚度

S =表示樣品橫截面積

型號(hào)

RMS 1000C

RMS 1000S

RMS 1000I

RMS 1000P

應(yīng)用范圍

導(dǎo)電材料

半導(dǎo)體材料

絕緣材料

半導(dǎo)體薄膜/薄片

測(cè)試方法

四線電阻法

半導(dǎo)體材料2線法

三環(huán)電極法*

雙電測(cè)組合直排4探針?lè)?/span>

電極材料

鉑金電極,碳化鎢探針

鉑金電極

鉑金電極

碳化鎢探針鉑金探針

樣品規(guī)格

10mm×10mm×20mm

φ20mm,d<5mm

φ25mm,d<4mm

薄膜φ1530mm,d<4mm

電阻范圍

1nΩ1GΩ

0.1100MΩ

100Ω10PΩ

0.1100MΩ

0.1.cm100MΩ.cm

1mΩ.cm10MΩ.cm

1000Ω.cm1PΩ.cm

1mΩ.cm10MΩ.cm





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