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輪廓/膜厚測量
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橢偏儀：超薄膜的實時可視化分析測試，實時觀察樣品微觀尺度上的結構?？梢詼y量諸如薄膜厚度、折射率和吸收系數(shù)等參數(shù)。也可以對薄膜進行區(qū)域化(選區(qū))分析，獲得所選區(qū)域的成像分析圖。
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