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Products產(chǎn)品中心

白光干涉儀

簡要描述:白光干涉垂直掃描和移相干涉測量法,0.1nm臺階,采用TotalFocus 技術(shù),全視場真彩色圖像。

  • 產(chǎn)品型號:Profilm 3D

詳細介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類別進口
應用領(lǐng)域綜合

白光干涉儀

Profilm 3D

支持垂直掃描和移相干涉測量法,高分辨率地測量亞納米級的表面形貌。采用TotalFocus 技術(shù),可以產(chǎn)生令人驚嘆的 3D 自然彩色圖像,每個像素都處于聚焦狀態(tài)。


在 Profilm3D 測量技術(shù)中,測量的垂直分辨率不依賴于物鏡的數(shù)值孔徑,能夠同時以大視場進行高分辨率的測量。通過將多個視場拼接到單次測量中,可以進一步增大測量區(qū)域。


應用范圍

a 從納米級到毫米級的3D臺階高度

a 3D粗糙度、波紋度、翹曲度和形狀,紋理表征

a 3D缺陷表面形貌、缺陷表征

a 大型透明薄膜的表面進行高分辨率掃描

a 高粗糙度,低反射率,劃痕表征

a 3D邊緣輪廓測量


2mm寬視野

Profilm3D以10倍物鏡提供2毫米視野,提供手動或自動物鏡切換炮塔等配置,適用于多物鏡使用場合

自動樣品臺

100 /200mm自動XY樣品平臺,自動對焦,Tip-Tilt功能

長程掃描

500μm長壓電行程范圍內(nèi)自動對焦,可掃描高度相隔甚遠的多個表面

粗糙度成像增強

粗糙度增強模式 (ERM) 可提高條紋對比度,從而提高透鏡等斜率較大的表面的保真度,并改善了粗糙表面上的信噪比


移相干涉成像(PSI)

移相干涉技術(shù)可精確測量亞納米級的表面特征                    

 白光干涉儀


TotalFocus 無限景深成像

由于高倍物鏡景深較小,傳統(tǒng)顯微技術(shù)無法觀察整個視野,TotalFocus可提供全視野像素級聚焦,可在對焦每個像素時捕捉到真彩色3D圖像。此功能可用于分辨具有不同光學特性的材料之間的邊界。

白光干涉儀


光學性能                                                                   機械規(guī)格

主要參數(shù)

WLI(VSI

PSI(選配)


Z軸行程

100mm

厚度量程

50nm~10mm

0~3μm


Pizeo(壓電)行程

500μm

RMS重復性

1.0nm

0.1nm


垂直掃描速度

12μm/

臺階高度精度

0.7%


相機

2592 x 19445MP

臺階高度重復性

0.1%


相機變焦

1×,2×,4×

樣品反射率

0.05%~100


Tip-Tilt樣品臺

±5°,手動


白光干涉儀







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