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首頁 > 產品中心 > 輪廓/膜厚測量 > 光學輪廓儀 > D500 /D600探針式輪廓儀(臺階儀)

探針式輪廓儀(臺階儀)

簡要描述:探針式輪廓儀(臺階儀)源自AFM的光學杠桿技術,精確測量臺階高度及表面輪廓。

  • 產品型號:D500 /D600

詳細介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間20萬-35萬
產品種類接觸式輪廓儀/粗糙度儀產地類別進口
應用領域綜合

探針式輪廓儀(臺階儀)Alpha-Step D500 /D600采用新型光學反射探測系統(tǒng)測量高度,同時應用電磁力控制探針壓力,能有效實現(xiàn)超微力和低慣量。探針的接觸式測量技術的優(yōu)點是直接測量,與材料特性無關。多種力度調節(jié)和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變,以及測量由材料結構改變引起的粗糙度和應力變化。

 

探針式輪廓儀(臺階儀)應用范圍:

1.2D/3D 表面形貌掃描

2.納米至1200μm臺階高度測量

3.粗糙度和波紋度測量

4.樣品翹曲和曲率半徑測量

5.2D薄膜應力測量

image.png

探針式臺階儀\探針式輪廓儀技術特點:

1.優(yōu)秀的重復性和再現(xiàn)性

2.接觸式測量,適用于多種材料

3.測量軟材料的微力控制

4.梯形失真校正可消除側視視圖造成的失真

5.弧形校正補償探針的弧形運動

image.png

型號

D500

D600

臺階高度

5nm~1200μm

分辨率

0.38Å

重復性

5Å(1μm臺階)

載力范圍

0.03mg~15mg

視頻

5MP高分辨彩色相機

樣品臺

140mm手動XY軸,Z軸自動

200m三軸自動

單次掃描

30mm

55mm

圖像拼接

80mm

200mm

梯形失真校正

消除側視視圖造成的失真

弧形校正

消除探針的弧形運動引起的誤差

掃描模式

2D

2D/3D

 

 

 

 

 

 

 

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